硅溶膠拋光液是一種化學機械拋光液，主要用于硅片、精密光學表面的平坦化加工中。硅溶膠磨料是在納米級的二氧化硅表面包覆一層膠狀物，可以減小磨粒形狀的不規(guī)則性、降低表面硬度，在化學機械拋光中最大限度的減少對工件表面的損傷 。硅溶膠拋光液的特點是去除率高，拋光性能穩(wěn)定，精密的拋光質量，Ra＜0.2nm。

        硅溶膠拋光液主要分為銅拋光液、鎢拋光液、硅拋光液和鈷拋光液等類別。其中，銅拋光液和鎢拋光液主要用于邏輯芯片和存儲芯片制造過程。在 10nm 及以下技術節(jié)點中，鈷將部分代替銅作為導線，硅拋光液主要用于硅晶圓初步加工過程中 。
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